國產(chǎn)激光干涉儀具有高強(qiáng)度、高方向、空間同調(diào)、窄帶寬、高單色等優(yōu)點(diǎn)。以穩(wěn)頻氦激光為光源,形成干涉測量系統(tǒng)。配合各種折射鏡、反射鏡等。可以測量線位、速度、角度、真實(shí)性、直線性、平線性、直線性、直線性、直線性和直線性,可以作為測量儀器的校正。
主要用途是測量目標(biāo)的運(yùn)動狀態(tài),即目標(biāo)的線性位移大小、旋轉(zhuǎn)角度(滾轉(zhuǎn)、俯仰和偏擺)、直線度、垂直度、兩個目標(biāo)在運(yùn)動的平行性(度)、平面度等。無論=機(jī)臺,還是數(shù)控機(jī)床的導(dǎo)軌(包括激光加工機(jī)床),不論是飛行物,還是靜止物的熱膨脹、變形,一旦需要高精度,都要用激光干涉儀測量,得到目標(biāo)的運(yùn)動狀態(tài)。
隨著數(shù)控機(jī)床應(yīng)用的普及,國產(chǎn)激光干涉儀檢測數(shù)控機(jī)床的精度已成為一種高精度的檢測手段。在不同的機(jī)床上,用激光干涉測量相同的精度曲線,需要對檢測結(jié)果進(jìn)行科學(xué)的分析。以下是儀器的維護(hù)事項(xiàng)分析,與大家一起探討有效的方法。
維護(hù):
1.儀器放置在干燥干凈的室內(nèi),防止振動。移動時,儀器應(yīng)固定底座,防止導(dǎo)軌變形。
2.不使用光學(xué)零件時,應(yīng)存放在干凈干燥的盆中,以防發(fā)霉。反射鏡和分光鏡一般不允許擦洗。需要擦拭時,先用備件刷仔細(xì)擦去灰塵,然后用脫脂棉球滴酒精輕輕擦拭。
3.傳動部件應(yīng)潤滑良好。特別是導(dǎo)軌、螺桿、螺母和軸孔部分,用儀表油潤滑。
4.在使用過程中,各調(diào)節(jié)部位應(yīng)用力適中,不得有強(qiáng)旋、硬拉。
5.導(dǎo)軌上的絲杠應(yīng)防止劃傷和生銹。使用后,得失油。
6.儀器零件經(jīng)調(diào)整后,應(yīng)涂紅漆,不得隨意轉(zhuǎn)動。