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SuperViewW1中圖光學(xué)3D表面輪廓儀器基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

SuperViewW系列3D輪廓儀三維形貌儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。

SJ5700S大量程粗糙度輪廓儀采用高精度光柵測(cè)量系統(tǒng)、高精度研磨導(dǎo)軌、高性能非接觸直線電機(jī)、音圈電機(jī)測(cè)力系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)各種工件表面輪廓進(jìn)行測(cè)量和分析。

中圖儀器SuperViewW1三維自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理，可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。

SJ5800接觸式二維輪廓測(cè)量?jī)x可以對(duì)零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實(shí)現(xiàn)一次掃描測(cè)量，尤其是大范圍曲面、斜面進(jìn)行粗糙度及輪廓尺寸一次性檢測(cè)，如圓弧面和球面、異型曲面進(jìn)行多種粗糙度參數(shù)（如Ra、Rz等）、微觀輪廓度Pt、波紋度參數(shù)的測(cè)量。

中圖儀器SuperViewW1光學(xué)3d輪廓測(cè)量?jī)x具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過(guò)程用時(shí)短，確保了高款率檢測(cè)。