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中圖儀器SuperViewW1光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x品牌由光學(xué)照明系統(tǒng)、光學(xué)成像系統(tǒng)、垂直掃描控制系統(tǒng)、信號(hào)處理系統(tǒng)、應(yīng)用軟件構(gòu)成。以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以?xún)?yōu)于納米級(jí)的分辨率，非接觸測(cè)量樣品表面形貌，主要用于表面形貌紋理，微觀結(jié)構(gòu)分析，用于測(cè)試各類(lèi)表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等領(lǐng)域。

OP光學(xué)輪廓儀主要用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓，也能測(cè)量晶圓翹曲度，適合晶圓，太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量，應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。也稱(chēng)為白光干涉儀 (WLI)，是一款以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以?xún)?yōu)于納米級(jí)的分辨率，非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。測(cè)量三維形貌的系統(tǒng)原理是在視場(chǎng)范圍內(nèi)從樣品表面底部到頂部逐層掃描，獲得數(shù)百幅干涉條紋圖像，找到該過(guò)程中每一個(gè)像素點(diǎn)處于光強(qiáng)最大時(shí)的位置，完

除了用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外，W1三維光學(xué)輪廓儀具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量，應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。

中圖儀器SuperViewW1光學(xué)表面3d輪廓測(cè)量?jī)x器能夠以?xún)?yōu)于納米級(jí)的分辨率，測(cè)試各類(lèi)表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。既可以接入客戶(hù)現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣，在無(wú)外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作，可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng)，同時(shí)內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動(dòng)，確保儀器在車(chē)間也能正常工作。

SJ5800國(guó)產(chǎn)粗糙度輪廓檢測(cè)儀操作便捷，功能廣泛，可對(duì)各種工件輪廓的幾何參數(shù)進(jìn)行測(cè)量。系統(tǒng)實(shí)時(shí)顯示掃描輪廓曲線圖，一次測(cè)量即可評(píng)價(jià)輪廓尺寸和粗糙度參數(shù)，對(duì)測(cè)量得到的零件輪廓形狀數(shù)據(jù)，用擬合的方法來(lái)評(píng)定圓弧、角度、傾斜、距離等輪廓尺寸及形位公差。可測(cè)量圓弧半徑、直線度、凸度、溝心距、傾斜度、垂直距離、水平距離、臺(tái)階等形狀參數(shù)，還可對(duì)各種零件表面的粗糙度進(jìn)行測(cè)試；

除主要是用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外，SuperViewW1便攜式3D輪廓測(cè)量?jī)x具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量，應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。通過(guò)利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術(shù)上的優(yōu)勢(shì)獲得獲得全面的表面特性。既可以用于科學(xué)研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測(cè)。