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NS系列接觸式膜層厚度臺階儀采用接觸式測量方式，主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率，同時，其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。

VT6000共軛共焦顯微鏡測量技術基于光學共軛共焦原理，以轉盤共聚焦光學系統為基礎，結合高穩定性結構設計和3D重建算法，共同組成測量系統。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數。

VT6000系列3D微觀形貌共聚焦顯微鏡基于光學共軛共焦原理，結合精密縱向掃描，3D 建模算法等，對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。對大坡度的產品有更好的成像效果，在滿足精度的情況下使用場景更具有兼容性。

NS系列納米測厚臺階儀測量臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數時，采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率，同時，其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。

SuperViewW1白光干涉微納米三維形貌一鍵測量儀以白光干涉技術為原理，獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優點，適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型，讓3D測量變得簡單。

VT6000共聚焦陡峭角度測量顯微鏡以共聚焦技術為原理，用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數。對大坡度的產品有更好的成像效果，在滿足精度的情況下使用場景更具有兼容性。