NS系列國產臺階儀測粗糙度應用場景適應性強,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,能夠廣泛應用于半導體、太陽能光伏、光學加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業領域內的工業企業與高校院所等科研單位,其對表面微觀形貌參數的準確表征,對于相關材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。
SuperViewW1白光干涉粗糙度形貌儀白光干涉技術為原理,具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點,測量單個精細器件的過程用時短,確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。
VT6000系列高分辨率共聚焦顯微鏡可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。
中圖儀器國產臺階儀測試薄膜厚度配備了500W像素的彩色相機,可實時將探針掃描軌跡的形貌圖像傳輸到軟件中顯示,進行即時的高精度定位測量。可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。臺階儀對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應面廣,數據復現性高、測量穩定、便捷、高效,是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。
國產臺階儀品牌廠家中圖儀器的NS系列臺階儀,是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。臺階儀對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應面廣,數據復現性高、測量穩定、便捷、高效,是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。
中圖儀器NS系列臺階儀接觸式輪廓測量儀主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應面廣,數據復現性高、測量穩定、便捷、高效,是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。
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